Bộ điều áp Parker SMSQ2MICRO30102

ĐẶC TRƯNG SẢN PHẨM :

Bộ điều chỉnh áp suất dòng SMSQ2 Micro được thiết kế cho các ứng dụng UHP yêu cầu kiểm soát áp suất chính xác trong một phong bì nhỏ. Hiệu suất và thông số kỹ thuật tiên tiến của sản phẩm khiến sản phẩm trở nên lý tưởng để sử dụng trong các hoạt động của công cụ bán dẫn quan trọng.

Dòng SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E là bộ điều chỉnh áp suất UHP thu nhỏ tiên tiến nhất trên thị trường. Dòng sản phẩm này cung cấp khả năng kiểm soát áp suất cực kỳ chính xác và đáng tin cậy giúp nâng cao hiệu suất của MFC (Bộ điều khiển dòng chảy lớn) rất quan trọng đối với độ lặp lại và năng suất sản xuất chất bán dẫn. Dòng sản phẩm này cũng mang lại tính toàn vẹn rò rỉ vượt trội và khả năng tạo hạt thấp, cả hai đều cần thiết cho các ứng dụng bán dẫn.

Bộ điều chỉnh phù hợp để sử dụng với cả khí trơ và khí ăn mòn, đồng thời mang lại phản ứng đặc biệt trước những thay đổi về nhu cầu dòng chảy theo chức năng. Dòng sản phẩm này sử dụng thiết kế màng ngăn tự định tâm độc đáo mang lại khả năng bịt kín chỗ ngồi và điều chỉnh áp suất đáng tin cậy. Việc tạo ra và bẫy hạt được giảm thiểu bằng cách loại bỏ lò xo hình múa rối và các sợi giữ chỗ ngồi giúp cải thiện hơn nữa độ sạch của quy trình và hiệu suất làm sạch.

Các bộ phận ướt của Dòng SMSQ2Micro được chế tạo từ các kim loại đặc biệt để mang lại khả năng chống ăn mòn đặc biệt, tính toàn vẹn khi rò rỉ và tuổi thọ chu kỳ tối đa ở áp suất đầu vào lên tới 250 psig. Thân xe được đánh bóng điện bên trong và sản xuất từ ​​​​thép không gỉ Vericlean™ 316L độc quyền của Parker Veriflo vượt quá yêu cầu về vật liệu Semi F20, mỗi màng ngăn và miếng đệm được sản xuất từ ​​Hastelloy C-22® và mỗi ghế đều có sẵn PCTFE hoặc Vespel®.

Cả SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E đều có diện tích gắn trên bề mặt nhỏ theo Thông số kỹ thuật giao diện mô-đun SEMI và có sẵn ở cả cấu hình c-seal và w-seal.

Tất cả các bộ điều chỉnh SMSQ2Micro và SMSQ2Micro130E đều được làm sạch theo yêu cầu chính xác của ngành bán dẫn và được lắp ráp trong môi trường phòng sạch cấp 100. Trước khi vận chuyển, vòng đệm bên trong (vị trí ngồi) và vòng đệm kim loại bên ngoài được kiểm tra rò rỉ khí Heli 100% bằng máy quang phổ khối để đảm bảo hiệu suất và độ tin cậy trong các ứng dụng UHP đòi hỏi khắt khe.

Thị trường:

• Chất bán dẫn
• Phòng thí nghiệm phân tích
• Dược phẩm
• BioPharm
• Hàng không vũ trụ
• Công nghiệp

Các ứng dụng:

• Khí ăn mòn và khí đặc biệt
• Dụng cụ bán dẫn
• Kết nối công cụ
• Tủ đựng gas
• Hộp đa dạng van (VMB)

Các tính năng và lợi ích:

• Có sẵn ở dạng gắn bề mặt phốt C và W với kích thước thân 1-1/8 inch và 1-1/2 inch
• Số lượng hạt cực thấp
• Màng ngăn loại bỏ lò xo ở khu vực ẩm ướt và tăng cường an toàn
• Công suất lưu lượng (Cv): 0,06 (SMSQ2Micro), 0,15 (SMSQ2Micro130E)
• Dải áp suất đầu ra: -10 psig đến 60 psig

BỘ MÃ SẢN PHẨM :

SẢN PHẨM LIÊN QUAN:

Điều áp Parker CKDN15JJH1

Bộ điều áp Parker SMSQ2MICRO30102

Cách lựa chọn mã sản phẩm , vật liệu , đặc tính và thông số kỹ thuật cũng như yêu cầu của quý khách hàng.Mọi thắc mắc cần được giải đáp cũng như tư vấn và nhận báo giá xin liên hệ với thông tin bên dưới :

CÔNG TY TNHH TÂN HẢI : 453B Đường Chiến Lược, Khu Phố 6, Phường Tân Tạo, Quận Bình Tân, Thành phố Hồ Chí Minh

Email : tanhai.automation@gmail.com Phone and zalo: Mr Trung : 0397536266